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生產設備

氣體質量流量傳感器校準系統

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a)產品概述
質量流量傳感器校準系統適用于生產線上的終檢校準,通過對小量程質量流量傳感器的通訊功能測試及不同溫度下的校準,確保產品精度及質量。校準流程及算法可由用戶自定義配置,豐富的登錄模式及權限級別設定,自動生成測試日志等,確保操作靈活且便于擴展。
b)應用專利技術
本系統中以下技術正在申請實用新型或發明專利:
《批量傳感器固定可識別裝置》
《無繞線針床夾具》
《高密封閥組》
《一種多氣路連接器裝置》
c)系統功能

主要功能

描 述

用戶管理

管理用戶登錄及操作權限,按權限高低分為管理員、工程師、技術員、線長和操作員,管理員具有最高權限,可以添加、刪除和修改用戶信息;

工單操作

用于創建不同溫度下的工單任務,只有當前存在的工單被終止或完成時,才能創建下一個工單;

參數配置

用于工程師對校準或測試參數進行配置;

模式選擇

提供生產模式、工程師模式以及校驗模式共三種工作模式;

錯誤日志瀏覽

為用戶提供按時間查詢的錯誤日志瀏覽;

數據存儲

自動存儲測試過程數據。

d)特性詳解
兼容多種信號輸出類型的傳感器——

信號類型

輸出方式

模擬量

電壓信號

數字量

IIC通訊信號

SPI通訊信號

PWM脈沖信號

溫度可控范圍寬,穩定性優異——可實現-20℃~100℃范圍內不同溫度點的精確控制,溫度控制精度為 1℃,目標溫度下的溫度波動度為 0.2℃;
良好的氣路密封性——采用鋼質氣管,采用少接頭設計,確保系統密封性。圖示是使用同一傳感器夾具進行5次(用不同顏色的曲線代表)泄漏測試時的泄漏率。(單位為sccm/s,測試壓力為2.5psi,保壓時間 20s,每個傳感器夾具包含4條氣路)

高測試校準精度——氣體流量控制精度達 1sccm,溫度控制精度 1℃。
高測試效率——系統可同時對32個被測件進行操作,8路總線并行的設計方法和溫度的快速穩定為Cycle Time節約了大量時間,達到160 DUTs/h,滿足生產線節拍的要求。
測試校準穩定可靠——GRR實驗數據良好。圖示為校準200sccm量程的傳感器時不同流量點下(50/100/160/200sccm)的GRR數據,均<10%。

便于維護——設計了專門的探針模塊用于從傳感獲信號點獲取信號,損壞時更該模塊即可;氣路裝拆方便;繼電器狀態通過指示燈顯示,指示直觀。
完善的安全機制——智能流程判斷;提供急停等安全操作機制,在系統出現突發狀況時對人及設備形成保護。
e)運行環境及系統指標

項目

描述

系統指標

流量范圍

0~1000sccm/0~200sccm可選

節拍

160件/小時,32件并行測試

物理尺寸 
(W D H)

溫控箱外形尺寸:2300 1430 1960mm

熱流機外形尺寸: 610 991 1303mm(Max.) 
(熱流機與溫控箱距離不超過2m)

運行環境

運行環境

溫度:0~50℃;濕度:35%~80%;

供電要求

AC 220V,50Hz

校準平臺、熱流機供電

AC 380V,50Hz

溫控箱供電

供氣要求

2.0bar

校準供氣,干燥、純凈的氮氣

5.0bar

氣缸供氣,干燥的壓縮空氣

90~100psi

熱流機供氣,干燥的壓縮空氣


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